Reinraum mit neuer Technik

Mikroelektronik, Nanoelektronik und Mikrosystemtechnik sind Schlüsseltechnologien der Zukunft, die für die deutsche Industrie von großer Bedeutung sind. Vor allem in den Bereichen Elektromobilität, Digitalstrategien, Industrie 4.0 und Nachhaltigkeitstechnologien kommen sie zum Einsatz. Innovative Lösungen dieser Art, die in der freien Wirtschaft noch nicht verfügbar sind, erhalten Unternehmen seit 1983 beim Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS). Anlässlich des 30-jährigen Bestehens des Institutsreinraums hat Baden-Württembergs Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut am 17. Oktober 2016 einen Förderbescheid in Höhe von einer Million Euro überreicht, der die Modernisierung des Reinraums finanziell unterstützt.

„Die Stuttgarter Forscher des IMS CHIPS sind mit ihrem Forschungs- und Dienstleistungsangebot seit vielen Jahren ein unverzichtbarer Partner für die kleinen und mittleren Unternehmen, die oft keine eigenen Forschungskapazitäten haben. Damit sie auch in Zukunft auf die Spitzenleistung in der Forschung zugreifen können, investiert das Land in die Modernisierung der technischen Infrastruktur des Instituts“, erklärte Ministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut. „Wir sind dankbar, dass das Wirtschaftsministerium uns in unserer Arbeit zum Nutzen der Unternehmen im Land unterstützt“, sagte Institutsdirektor Prof. Joachim Burghartz.

1986 übergab der damalige Ministerpräsident Lothar Späth dem noch jungen Institut einen Reinraum sowie eine Halbleiterfertigungslinie. Jetzt wird der Raum dem Stand der Technik angepasst. In einem Reinraum gibt es nur eine sehr geringe Konzentration von Partikeln in der Luft. Vor allem in der Halbleiterfertigung ist das nötig; kleine Teilchen in der gewöhnlichen Umgebungsluft würden die Strukturierung der nur ein Bruchteil eines Mikrometers großen integrierten Schaltkreise stören.

Über das innBW-Institut IMS CHIPS

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ist eine gemeinnützige Stiftung im Land Baden-Württemberg und betreibt wirtschaftsnahe Forschung auf den Gebieten Siliziumtechnologie, Nanostrukturierung, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASICs) und Bildsensorik. Das Institut ist Partner kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit international führenden Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen. Am IMS CHIPS arbeiten rund 100 Mitarbeiter und Gastwissenschaftler in den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Nanostrukturierung.

www.ims-chips.de