Chips für elektronische Geräte können immer größere Datenmengen verarbeiten. Neue Informationssysteme mit künstlicher Intelligenz wie lernfähige Roboter oder autonome Fahrzeuge brauchen besonders leistungsfähige Mikrochips. Sie lassen sich mit der herkömmlichen Technik jedoch nicht herstellen. Ein internationales Team aus verschiedenen Unternehmen hat diese Hürde nun überwunden: Mit der EUV-Lithographie, die auf Licht mit einer extrem kurzen Wellenlänge basiert, lassen sich Mikrochips herstellen, die bei der Anwendung künstlicher Intelligenz in kurzer Zeit große Datenmengen verarbeiten können. Die Technologie wurde am 25. November 2020 mit dem Deutschen Zukunftspreis prämiert. Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier und Baden-Württembergs Wirtschaftsministerin Dr. Nicole Hoffmeister-Kraut gratulierten den Siegern zu der renommierten Auszeichnung. Neben den Unternehmen Zeiss, Trumpf und ASML waren unter anderem das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF und das innBW-Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) an der Innovation beteiligt.
Im Gegensatz zur klassischen optischen Lithographie basiert das EUV-Abbildungssystem von Zeiss nicht auf Linsen, sondern auf Spiegeln. Die hochpräzisen Spiegel aus Oberkochen können einen Durchmesser von bis zu einem Meter haben und erfordern Krümmungsgenauigkeiten im Nanometer-Bereich. Um diese Spiegel vermessen zu können, werden individuell gefertigte hochgenaue „Computer Generierte Hologramme“ (CGH) benötigt, die am IMS CHIPS in einer einzigartigen Technologie hergestellt werden. Mit modernstem Equipment wie Elektronenstrahlschreibern sowie engagierten Experten ist es dort möglich, auch sehr große Quarzsubstrate mit Strukturgrößen im Bereich unter 100 Nanometer zu versehen. Dies wiederum ermöglicht es Zeiss, Spiegel verschiedenster Geometrien mit der erforderlichen Präzision zu vermessen. Das wirtschaftsnahe Forschungsinstitut IMS CHIPS ist ein Mitglied der Innovationsallianz Baden-Württemberg (innBW) und ist somit einer der Schlüsselpartner von Zeiss.
Über IMS CHIPS
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) ist eine gemeinnützige Stiftung im Land Baden-Württemberg und betreibt wirtschaftsnahe Forschung auf den Gebieten Siliziumtechnologie, Nanostrukturierung, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASICs) und Bildsensorik. Das Institut ist Partner kleiner und mittlerer Unternehmen insbesondere in Baden-Württemberg und arbeitet mit international führenden Halbleiterunternehmen und Zulieferern zusammen. Am IMS CHIPS arbeiten rund 100 Mitarbeiter und Gastwissenschaftler in den Bereichen Mikroelektronik, Mikrosystemtechnik und Nanostrukturierung.
