Im September 2024 trat Prof. Dr. Joachim Burghartz, Direktor des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS) und ordentlicher Professor an der Universität Stuttgart, in den wohlverdienten Ruhestand. Die Universität Stuttgart ehrte ihn am 9. Oktober mit einem feierlichen und persönlichen Kolloquium. Zahlreiche langjährige Wegbegleiter folgten seiner Einladung und verliehen dem „Farewell Colloquium“ eine feierliche und emotionale Atmosphäre. Ehemalige Kollegen, Mitarbeiter und Doktoranden nutzten die Gelegenheit, sich nach langer Zeit wieder persönlich zu begegnen und die gemeinsamen Erinnerungen an eine beeindruckende Ära aufleben zu lassen.
Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart dankt Prof. Dr. Burghartz für sein langjähriges Engagement und die wertvolle gemeinsame Zeit, in der er das Institut mit großem Einsatz und visionärem Weitblick geprägt hat. Er war nicht nur ein angesehener Direktor, sondern auch ein geschätzter Kollege und verlässlicher Mentor. Mit seiner Leidenschaft für Forschung und Innovation hat er das Institut fit für die Zukunft gemacht.
Die Technologie im Bereich der Mikroelektronik hat sich in den letzten Jahrzehnten rasant weiterentwickelt. Chipstrukturen wurden immer kleiner, während die Siliziumscheiben („Wafer“), aus denen die Chips gefertigt werden, immer größer wurden. In den 1960er Jahren, zu Beginn der Mikroelektronik-Revolution, hatten Wafer einen Durchmesser von lediglich 50 mm. Zwei Jahrzehnten später erreichten sie bereits 150 mm. Heute beträgt der Standarddurchmesser von Wafern für die Großserienproduktion 300 mm, während für Kleinserien sowie Forschung und Entwicklung heute 200-mm-Wafer üblich sind. Professor Burghartz hat diesen technologischen Wandel auch am IMS, das in den letzten Jahren seine Reinraumfertigung vollständig auf 200-mm-Wafer umgestellt hat, wegweisend begleitet. Zudem kann das Institut im Bereich der Nanostrukturierung Substrate mit Größen von 300 mm und 430 mm verarbeiten.
Unter der Leitung von Prof. Burghartz war das IMS zudem kontinuierlich an bedeutenden europäischen Technologieforschungsprojekten beteiligt, in denen die Lithografieverfahren für immer kleinere Strukturen weiterentwickelt wurden – zunächst für 7-Nanometer-Technologien, später für 5-Nanometer- und 3-Nanometer-Technologien und aktuell für den 2-Nanometer-Bereich. Für seine neuartige Methode zur Herstellung extrem dünner Siliziumchips, die bis zu 50-mal dünner sind, als herkömmliche Mikrochips, wurde Prof. Burghartz u.a. 2010 mit dem Landesforschungspreis des Landes Baden-Württemberg und 2014 dem international sehr renommierten J.J. Ebers Award der IEEE Electron Devices Society ausgezeichnet.
Seit Oktober 2005 hatte Prof. Dr. Burghartz die Leitung des IMS inne und trug maßgeblich zur internationalen Anerkennung des Instituts bei. Zuvor sammelte er wertvolle internationale Erfahrung, unter anderem bei IBM in den USA und an der TU Delft in den Niederlanden. Als Nachfolger von Prof. Dr. Bernd Höfflinger übernahm er die Leitung des Instituts und formte es in 19 Jahren zu einem weltweit geschätzten Forschungspartner und führenden Anbieter neuartiger hochpräziser, nanostrukturierter Komponenten.
Unter seiner Führung setzte das IMS entscheidende wissenschaftliche Impulse und entwickelte sich zu einem unverzichtbaren Partner in der internationalen Forschungslandschaft. Die hochpräzisen, nanostrukturierten Komponenten, die am IMS entwickelt wurden, haben sich als Schlüsselelemente der modernen Halbleiterfertigung etabliert. Zuletzt legte Prof. Burghartz den Grundstein für bedeutende Fortschritte in der Quantentechnologie: Die geplante Realisierung einer Pilotlinie für Bauteile, die auf Quanteneffekten basieren, eröffnet vielversprechende Anwendungen in der Sensorik und Informationstechnik.
Bis zur Berufung eines Nachfolgers übernimmt Prof. Dr. Jens Anders, Stuttgarter Professor und Leiter des Instituts für Intelligente Sensorik und Theoretische Elektrotechnik (IIS), die geschäftsführende Leitung des IMS. Prof. Anders ist bereits seit Oktober 2022 als Co-Direktor am IMS tätig und wird die Vision und Innovationskraft des Instituts im Sinne von Joachim Burghartz weiterführen. Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart blickt dankbar auf die herausragenden Verdienste von Prof. Dr. Joachim Burghartz zurück und wünscht ihm für seinen neuen Lebensabschnitt alles Gute.
