In Mikrochips integrierte Wellenleiter sind günstige, massentaugliche und hochpräzise Licht-Autobahnen. Mit ihnen wird Laserlicht in sogenannten Quantensensoren aufgeteilt, überwacht und an die richtigen Stellen geleitet – ein wichtiger Baustein für die Miniaturisierung und Serienfertigung solcher modernen Messfühler. Damit sollen in Zukunft Magnetfelder, Temperaturen und Drücke mit enormer Genauigkeit gemessen werden.
Die Siliziumnitrid-Wellenleiter auf diesem Halbleitersubstrat (auch "Wafer" genannt) sind besonders geeignet für das grüne und nah-infrarote Laserlicht, das in Quantensensoren benötigt wird. IMS CHIPS hat hierfür einen Prozess zur Massenfertigung entwickelt. Kaum vorstellbar: Die aufgerollten Lichtwellenleiter auf diesem Wafer sind zusammengerechnet über 100 m lang.
